不锈钢CVD设备晶圆承载碗形盖

不锈钢CVD设备晶圆承载碗形盖

不锈钢晶圆承载盖加工 CVD设备精密腔体件定制 CNC不锈钢碗形盖加工

无锡本地半导体设备零件专业加工,不锈钢CVD设备晶圆承载碗形盖来图定制,精车内腔工艺,圆度高洁净度好,1件起做,24小时报价,批量交期稳定。

产品详情

【零件介绍】本产品为不锈钢CVD设备晶圆承载碗形盖,采用优质304不锈钢棒料经CNC精密车削加工而成,全面经精车处理,表面光洁度高,Ra≤0.8μm,耐高温、耐腐蚀,满足CVD化学气相沉积设备对腔体零件洁净度与精度的严苛要求。

图中所示为同批次6件,正反两种状态均可见:正面为圆形平顶结构,中心设精密小孔,用于气体通路或定位销插入;背面为碗形内腔结构,内腔经精车成形,腔壁与腔底过渡圆滑,内腔用于晶圆或基片的承放定位,外圆周设台阶用于嵌入腔体定位安装。整体圆度≤0.005mm,端面平面度严格管控,批量供货尺寸一致性高,适合半导体设备批量装配使用。加工完成后经超声波清洗,确保表面无油污及金属颗粒残留,满足半导体洁净级要求。广泛应用于CVD薄膜沉积设备晶圆承载件、PVD真空镀膜腔体内衬盖及半导体热处理炉晶圆托盘盖场景。支持按图纸定制内腔尺寸、中心孔径及台阶规格,1件起做。


【加工方案】图纸审核 → 备料(304不锈钢棒)→ CNC车削圆形外圆及端面 → 精车背面碗形内腔 → 车削外圆台阶 → 钻削中心小孔 → 超声波清洗 → 三坐标检测 → 出货

外圆及端面经数控车床精车,保证圆度及端面平面度;背面碗形内腔经成形车刀精车,腔壁及腔底过渡圆滑,内腔尺寸严格管控;外圆台阶精车保证台阶直径及高度一致性;中心小孔精钻保证孔径及垂直度;加工完成后超声波清洗去除切削油污及金属微粒;批量生产每件三坐标全检外径、内腔直径、台阶尺寸及端面平面度,一致性严格保证。


【加工能力】

加工设备:CNC加工(3轴/4轴/5轴)、车铣复合、数控车、车床、走心机、磨床、线切割(慢丝/中丝/快丝)、电火花、激光切割折弯、焊接、3D打印设备、龙门加工中心等

加工材料: · 铝合金:6061/6063/7075/2A12/LY12等 · 不锈钢:303/304/310/310L/316/316L/45钢/40Cr/Q235等 · 非金属:ABS/尼龙/POM/PVC/PPS/PEEK/电木/铁氟龙/PTFE/亚克力/PC等 · 其他:黄铜、紫铜、钨铜、钛合金、镁合金、镍合金、哈氏合金、钨钢、陶瓷、玻璃等

表面处理:阳极氧化、电镀、拉丝、发黑、丝印、镭射、喷涂、喷砂、抛光、等离子表面处理

加工精度:常规精度±0.01mm,高精度可达±0.005mm

交货周期:标准件5-10个工作日,加急件最快3天发货


【如何下单】

第一步 · 发送图纸 支持 STEP / DWG / SolidWorks / IGES 等格式,发送至微信或邮箱均可,图纸严格保密处理。

第二步 · 说明需求 注明加工数量、材质要求、表面处理要求及精度要求。

第三步 · 工程师评审 免费审图,工程师评估加工方案与可行性,24小时内出具报价单,并提供工艺优化建议。

第四步 · 确认下单 确认报价与方案后安排生产,标准件5-10个工作日交付,加急件最快3天发货,提供物流跟踪。


【常见问题】

Q:最小起订量是多少?1件也可以加工吗? A:支持1件起做。我们专注小批量非标精密零件加工,高度柔性生产,单件打样、小批量、批量均可承接,不设最低起订量限制。

Q:没有图纸,只有样件,可以加工吗? A:可以。提供来样测绘服务,工程师对样件进行测绘出具图纸后再加工,全程无需客户自行提供图纸。

Q:加工精度最高能达到多少? A:常规精度±0.01mm,高精度需求可达±0.005mm。具体取决于零件结构与材质,工程师审图后会给出可实现的精度范围建议。

Q:交货周期一般多久?可以加急吗? A:标准件5-10个工作日,结构简单的零件最快3天可发货。支持加急服务,加急件优先排产,具体排期以工程师确认为准。

Q:报价需要多久? A:24小时内出价格,免费审图,无需等待。

Q:图纸发过去,信息安全有保障吗? A:可签署保密协议(NDA),图纸仅用于报价与生产,不对外泄露。如需要可在下单前先签署保密协议。

Q:质量有问题怎么办? A:质量问题免费返修/重做,自有工厂生产,无中间差价,品质全程把控。

Q:支持哪些加工工艺? A:工艺齐全,支持CNC机加、车铣磨、钣金、3D打印(FDM/SLA/SLS)、激光切割、焊接、非标机械设计等全线工艺。


177-0621-7614

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